多孔性陶瓷真空吸盤

材質特性

♦高精度、可局部區域性吸附

  孔徑極小，可達微米 ~ 次微米，耗氣量少且吸附力強，

  局部吸附亦可，不會因此產生破真空的狀況

 

♦孔隙度均勻、吸附力很強、可承載荷重

 

♦高溫燒結、耐磨耗、高硬度、耐化學腐蝕、不發塵特性，

  氧化鋁材質，經由1500℃以上高溫完全燒結，不易產生發塵

 

♦有均勻吸附的特性，吸附物可維持很好的平坦度，

  吸附物不變型，薄膜及類似等薄物件吸附尤佳

♦特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2～3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附，同時也可作氣浮平臺，廣泛應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌

加工簡介

產品孔徑：2um~50um，可應用於各種特殊用途

尺寸：單片500x500 mm，組合尺寸可達1x1 m 以上

高平面度：可依尺寸達0.003~0.05 mm

孔隙率： 35~40%

底座：材質可搭配陶瓷、石材、不銹鋼、鋁合金、鈦合金….各式金屬

顏色：黑、白、咖啡色

形狀：可客製化

加熱需求：內部可客製化，加裝熱控溫相關設計（最高溫度200℃）

特殊多孔陶瓷：可製作低電阻值、高抗靜電性佳的特殊多孔陶瓷（低電阻值：104~106 W/cm ）