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多孔陶瓷真空吸盤&氣浮平台
2020/07/31
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高緻密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為0.2微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附,
同時也可作氣浮平台,廣泛應用半導體、面板、雷射製程及非接觸線性滑軌。
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